|
|
|
|
|
|
|
Установка для научных исследований
Установка для научных исследований сконструированая для МГТУ МИСИС.
В установке применяется комбинация нескольких методов нанесения покрытий. Для получения более высокой ионизации плазмы внутри рабочей зоны установки применяются как сбалансированные, так и несбалансированные магнетроны. Повышение ионизации позволяет более эффективно управлять процессом осаждения пленок и подачей потенциала смещения на подложку.
Фотография внутрикамерного устройства лабораторной установки:
|
|
|
|
|
|
|
|
