|
|
|
|
|
|
|
Установка с карусельным транспортером
Предназначена для нанесения защитных, барьерных или декоративных покрытий толщиной от 0,01 до 10 мкм; при относительно небольших габаритных размерах рабочей камеры установки.
Отличается высокой производительностью, достигаемой за счет эффективного использования ее рабочего объема и применения предварительной ионной обработки поверхности и высокоскоростных систем нанесения покрытий.
В зависимости от поставленных задач и технологической концепции установка комплектуется:- Планарными серии ПК-1100 (до 4-х шт.) или коаксиальными серии ТК-40 (1100 мм) ( 1 шт.) распылительными системами протяженного типа до 1100 мм и плотностью мощности > 102 Вт/см2;
- Ионными источниками (2 шт.) протяженного типа длиной до 1100 мм и мощностью до 6 КВт каждый;
- Нагревателем, обеспечивающим температуру до 750оС;
- Системами тлеющего разряда;
- Модулем подачи опорного напряжения до 1,1 КВ;
- Суммарная электрическая мощность установки до 80 КВт.
|
|
|
|
|
|
|
|
