|
|
|
|
|
|
|
Установка с линейным транспортером
Предназначена для нанесения в вакууме покрытий от 0,01 до 100 мкм и выше (из металлов; сплавов; химических соединений металлов с азотом, кислородом, углеродом, бором, кремнием, серой и их возможных смесей) на плоские (пластины, листы) и объемные (профили, тела вращения) изделия из металла, стекла, керамики и пластика.
Установка комплектуется:- плоскими магнетронами серии ПК-1500 до 6 шт. по 3 с каждой стороны;
- длина мишени до 1700 мм с плотностью мощности в разряде > 102Вт/см2;
- ионными источниками до 4 шт. по 2 с каждой стороны для ионного травления и активации;
- нагревателем туннельного типа до 350оС;
- системами тлеющего разряда;
- подачей опорного напряжения до 1,1 кВ.
Суммарная энергетическая мощность установки до 180 КВт.
Базовый вариант установки имеет размер рабочей камеры 8000х1800х500 мм.
|
|
|
|
|
|
|
|
