Импланторы

Уникальной разработкой "Инакотек" является оборудование для ионно-лучевой обработки материалов в вакууме.
Установки ионной имплантации широко применяются в производстве микроэлектроники уже более 50 лет, но для задач машиностроения они только в настоящее время начинают находить применение.
Применение ионно-лучевых технологий разрабатываемых в "Инакотек" позволило упрочнить и повысить усталостную прочность компрессорных лопаток авиационного двигателя. Для этой цели применялся имплантор серии Вита.
Участок на базе этих импланторов создан в уфимском моторостроительном объединении и в настоящее время находится в эксплуатации.
Импланторы серии Сокол в настоящее время широко применяются в научных исследованиях и производстве.

Основные результаты, достигнутые с этими устройствами приведены ниже:

Имплантор «Сокол»

Повышение стойкости и скорости резанья в 3 раза фрез для обработки титановых материалов по заказу ОАО "НПО Сатурн" г. Рыбинск.
Создание покрытия с высокой поверхностной электрической емкостью и низкой остаточной поляризацией для электродов электрокардиостимуляторов, по заказу ЗАО"Кардиоэлектроника" г. Климовск, Моск. Обл.
Разработана новая серия покрытий низкого сухого трения, МГТУ МИСИС г. Москва.
Разработана технология повышения стойкости нитридных покрытий на резцовый инструмент. МГТУ СТАНКИН г, Москва, Университет им. Отто фон Герике. г. Магдебург, Германия
Получено значительное (боле чем в два раза) повышение стойкости твердосплавных пластин для обточки реборд вагонных железнодорожных колес. Завод им. Войтовича. Г.Москва. Матриц и пуансонов для штамповки гильз, завод "Штамп" г. Тула.

Имплантор «Вита»

Основные параметры предлагаемых импланторов приведены в таблице:

Наименование имплантора	Вита	Сокол 20/50	Сокол 50/50	Сокол 30\100	Сокол Универсал
Параметры	1	2	3	4	5
Максимальная энергия однозарядных ионов, кэВ	50	50	50	30	50
Максимальный средний ток, мА	30	20	50	100	100
Тип ионного источника	Стационарный газовый (типа источника Фримана)	Импульсно-дуговой (типа источника Брауна)-ИД	ИД	ИД	ИД
Максимальный имп. ток, А		3	5	10	10
Ионы	Газов, легкоплавких металлов и др. металлов	Ионы тугоплавких и среднеплавких металлов (ИТСМ)	ИТСМ	ИТСМ	ИТСМ и ионы газов
Макс. скорость набора дозы имплантации ион/с см²х10¹⁴	5	2	5	10	10
Применение	Ионная имплантация (ИИ)	ИИ + ассистирование (IBAD)	ИИ + IBAD	СИИ + IBAD	ИИ + IBAD