Магнетроны

Магнетроны
Инакотек предлагает скоростные ионно-плазменные распылительные системы магнетронного типа (CИПМРС) с тремя типами катодов: круглые, прямоугольные, трубчатые.

Основные параметры	Типоразмер рабочей камеры: высота (мм)/количество магнетронов (шт)
Основные параметры	600/4	1000/6
Электрическая мощность, кВт	60	180
Высота рабочей зоны нанесения слоя покрытия, мм	400	850
Максимальный диаметр планетарной карусели, мм	650	850
Грузоподъемность карусели, кг	До 150	До 350
Плотность мощности разряда магнетрона, Вт/см²	До 500	До 300
Скорость нанесения слоя покрытия, мкм/ч	До 150	До 80
Производительность по площади покрытия, дм²	160-480	450-1350

Отличительной особенностью этих систем является:

Прямое интенсивное охлаждение распыляемой мишени, что позволяет достигать высоких плотностей мощностей разряда до 103 Вт/см2;

Сильное сбалансированное магнитное поле, что позволяет достичь высокой концентрации плазмы;

Простота конструкции и удобство в сборке и эксплуатации;

Возможность распыления мозаичных мишеней из различных материалов с одинаковой скоростью.